在线飞针测试系统
★设备用途
高密度光片电极板测试
集成元器件的电极板测试
★设备指标
测试针及测试焊盘：可测最小焊盘尺寸: ≤25μm；可测最小焊盘间距: ≤100μm；测试针接触最小压力≤10g
测试平台: 测试区域（X*Y）≥500mm×400mm；样品高度≥150mm；X、Y、Z重复定位精度≤±2μm；X、Y、Z轴分辨率≤0.1μm
测量信号:直流电压测量信号：-100V～+100V，直流电流0～1A，交流电流40mVrms ～ 100Vrms
★设备用途
高密度光片电极板测试
集成元器件的电极板测试
★设备指标
测试针及测试焊盘：可测最小焊盘尺寸: ≤25μm；可测最小焊盘间距: ≤100μm；测试针接触最小压力≤10g
测试平台: 测试区域（X*Y）≥500mm×400mm；样品高度≥150mm；X、Y、Z重复定位精度≤±2μm；X、Y、Z轴分辨率≤0.1μm
测量信号:直流电压测量信号：-100V～+100V，直流电流0～1A，交流电流40mVrms ～ 100Vrms
